반도체 장비에는 가공장비, 후공정장비, 인쇄장비, 소자장비 등이 포함되는데 이 가운데 핵심은 반도체 칩의 노광·식각 및 박막 생성 등에 이용되는 장비와 각종 시험장비를 망라한 미세 가공장비라 할 수 있다.

　중국의 반도체 전용 장비 제조산업은 지난 60년대 초반에 태동됐다. 이후 다이오드, 트랜지스터 소결로, 용접기기, 패키징기 및 절삭기 등 장비가 개발·생산됐고 60년대 말부터 70년대 초에는 집적회로(IC) 생산업체들이 잇따라 설립되면서 반도체 전용 장비 제조산....