반도체 및 LCD 장비업체인 파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.co.kr)은 초소형미세가공시스템(MEMS·멤스) 기술을 이용한 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 검사장치 ‘멤스 유닛’을 세계 최초로 개발했다고 22일 밝혔다.

　멤스 기술을 이용한 이 제품은 60㎛ 피치(pitch)까지 검사할 수 있는 기존 니들(needle) 타입 ‘프로브 유닛(probe unit)’에 비해 정밀도가 2배 이상 높아져 30㎛ 피치까지 대응할 수 있다.

　이억기 사장은 “멤스 유닛은 기존 니들 타입에서는 검사할 수 없었던 IZO....