반도체 표면 처리용 플라즈마 기술 특허 출원이 지난 5년 동안 무려 34배나 증가한 것으로 나타났다. 반도체 시장이 호황을 누리면서 반도체 표면 처리용 플라즈마 처리 장치 관련 수요가 크게 늘고 있기 때문인 것으로 풀이된다.