해외 기업이 국산 반도체 장비에 들어가는 인공지능(AI) 특허를 사실상 독점하고 있는 것으로 나타났다. 국내 업체 일부도 AI 특허 확보에 나섰지만 턱없이 부족하다. 반도체 공정 생산성 향상의 핵심인 AI 기술에서 밀리면서 한국 반도체 장비 경쟁력도 뒤처질 것이란 우려가 크다.