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- "순도 99.9998%"…에스티아이, SiC 잉곳 파우더 국산화
에스티아이(STI)가 반도체 핵심 소재인 실리콘카바이드(SiC) 잉곳 파우더를 국산화했다. SiC 파우더는 반도체 웨이퍼 잉곳의 기초 소재로 사용된다. 전량 수입에 의존해 온 품목이다.
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에스티아이는 SiC 반도체 잉곳 제조 장비인 '화학기상전송(PVT) 성장로'를 독자 개발하고 SiC 잉곳 파우더 개발에 연구 인력 20여명과 100억원을 투입했다. 1단계로 잉곳 성장으로 기술을 확보한 뒤 이를 기반으로 잉곳 원료인 파우더까지 개발했다.- 관련자료
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