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- 넥스틴, 반도체 'EUV 장비' 신성장 이끈다
넥스틴이 극자외선(EUV) 공정 분야에 진출한다. 초미세 회로 불량을 일으키는 '미세 정전기' 제거 장비를 개발했다. EUV는 초미세 반도체를 구현하는 최첨단 반도체 기술이다.
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넥스틴은 최근 EUV 공정에 쓸 수 있는 미세 정전기 제거 장비를 개발했다. '레스큐(ResQ)'로 알려진 이 장비는 하반기 공급을 목표로 상반기 고객사에서 양산 성능 평가에 들어간다. 넥스틴이 EUV 관련 제품을 내놓은 건 처음이다.
반도체 제조에서 정전기 제거는 필수다. 순간적인 전압으로 반도체가 망가지기 ....- 관련자료
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