삼성전자가 반도체 공정 제어·관리에 적용할 '스마트센서 시스템'을 자체 개발한다. 반도체 수율을 높이고 생산성을 개선하기 위한 것으로, 궁극적으로 무인화와 인공지능(AI) 반도체 공장(팹) 구현에 다가서는 기술이다.

25일 업계에 따르면 삼성전자는 반도체 제조 공정에 적용할 스마트센서 시스템 연구개발(R&D)에 돌입했다. 관련 협력사는 물론 학계와 손잡고 프로젝트를 진행 중이다.

사안에 정통한 관계자는 “삼성전자가 반도체 공정에서 발생하는 데이터를 활용하기 위....