국내 산업계와 연구기관이 지능형 반도체 장비 구현에 시동을 걸었다. 반도체 제조 공정에서 발생하는 데이터를 인공지능(AI)으로 분석·처리, 생산성을 끌어 올릴 '플랫폼'을 개발한다. 반도체 장비를 AI로 전환할 기술로, 해외 선도 기업 대비 뒤처진 AI 반도체 장비 경쟁력을 확보할 수 있을지 주목된다.

2일 업계에 따르면, 한국전자기술연구원(keti)은 국내 반도체 장비 기업과 '반도체 장비 지능화 플랫폼 개발 사업'에 착수했다. 반도체 장비 데이터를 수집·처리·분석해 공정에 ....