일본 캐논은 IC의 미세한 회로패턴을 형성하는 스테퍼(축차이동식로 광장치) 의 차세대 양산기를 제품화, 10월부터 판매한다고 지난 11일 발표했다.
캐논의신제품은 운반체계를 개량해 처리속도가 종래기종보다 20% 향상됐으며 클린룸내에서 차지하는 공간도 20%정도 작게 설계됐다.
또이 신제품은 종래 선폭 0.4미크론인 해상력을 선폭 0.35미크론의 미세 회로패턴을 그릴 수 있도록 성능을 제고, 64MD램을 생산할 수 있다. 판매 가격 은 3억5천만엔이 될 것으로 알려졌다.