일본 최대 반도체업체 NEC가 반도체웨이퍼의 12인치화에 나선다. 일본 "일 간공업신문"의 최근 보도에 따르면 NEC는 최근 12인치 웨이퍼라인의도입을 위해 반도체사업부 내에 "12인치 프로세스 검토프로젝트팀"을 발족시켰다고 밝혔다. 이 팀은 내년 9월까지 도입계획을 마련할 예정이다. 그동안 12인치 웨이퍼라인의 도입은 모토롤러, 삼성전자등 주로 미국 및 한국업체들이 의욕 을 보여 왔는데 최근 들어서는 일본업체들 간에도 이의 도입을 위한 준비작업을 본격화하고 있다.
"12인치 프로세스 검토프로젝트팀"은 반도체생산기술본부, ULSI디바이스개 발연구소 등의 부장급 17명으로 구성된다. 이 팀은 반도체업계의 싱크탱크인반도체산업연구소와 연계해 생산설비의 평가 등을 실시, 도입계획을 마련할방침이다. 한편 NEC는 97년경 사가미하라사업장에 건설할 예정인 반도체 전처리공장 에세계 최초로 12인치 웨이퍼라인을 도입할 계획이다. <신기성기자>