일본의 대형 전자부품업체인 TDK가 반도체 제조장비사업에 참여한다고 "일본경제신문"이 22일 보도했다.
이에 따르면 TDK는 반도체공장의 설비투자를 20% 절감할 수 있을 것으로평가되는 "클린 반송시스템"의 기본특허를 최근 일본에서 취득했으며 이를바탕으로 투자비의 축소를 꾀하는 반도체업체들을 상대로 제조장비의 판매에나선다는 것이다.
특히 이 회사가 이 시스템에 의한 생산라인 설계등도 사업화해 나갈 방침이어서 2조엔 규모로 추정되는 반도체 제조장비시장에 적지않은 변화가 예상된다고 이 신문은 덧붙였다.
TDK가 기본특허를 취득한 것은 반도체등 생산라인을 내부가 진공으로 된자동반송차로 묶는 시스템이다.
최신 반도체공장의 경우 1개동을 건설하는데 1천억엔이 소요되는데 "클린반송시스템"을 도입하면 이중 2백억~3백억엔을 차지하는 클린룸 및 공조기기경비를 대부분 절감할 수 있으며 1개동에서 연간 20억엔 정도가 소요되는 클린룸의 라이닝비용도 대폭 줄일 수 있다고 TDK측은 밝혔다. TDK는 작년에 부품실장등 제조장비를 1백50억엔 정도 판매한 것으로 추정되는데 반도체 제조장비 및 생산라인 설계사업 참여를 계기로 1,2년내에 그 규모를 두배로 늘릴계획이다.
한편 TDK는 10년전 "클린 반송시스템"에 대한 특허를 출원, 미국에서는 2년전에 특허를 획득했으나 일본에서는 6건의 이의가 제출돼 취득이 늦어졌다.
〈신기성기자〉