일본 오키전기가 프린터용 고화질 발광다이오드(LED)어레이칩을 개발했다고 「日經産業新聞」이 9일 보도했다.
이 은 세계최초로 1인치당 1천2백도트의 기록밀도를 확보했다.
LED어레이는 갈륨비소 기판상에 갈륨비소 燐층을 성장시킨 기판을 사용,갈륨비소 燐층에 아연을 확산시켜 형성하는데 오키는 미세한 확산영역 패턴을 형성할수 있는 「고체상태 확산기술」을 개발했다.
오키는 이 기술을 이용, 하나의 반도체칩 상에 2백56도트의 LED를 21.2미크론 간격으로 나열시키는데 성공했다.
<박주용 기자>