일본 샤프가 저온 폴리실리콘(pSi) 컬러 TFT(박막트랜지스터)방식 액정표시장치(LCD)를 올해안에 양산한다.
16일 일본 「電波新聞」 보도에 따르면 샤프는 11종의 아몰퍼스 실리콘 TFT방식 LCD를 생산하고 있는 텐리 공장에서 올해안에 액정 프로젝션용소형 고정밀 제품을 시작으로 pSiTFT방식 LCD를 양산할 예정이다.
이 회사가 양산하는 저온 pSiTFT방식 LCD는 5백도C 이하의 저온으로 대형 유리기판 위에 pSiTFT를 성형한 것으로 주변회로 시스템을 동일패널에 일체화시켜 성형한 것이다.
샤프는 양산을 준비중인 pSiTFT방식 LCD는 독자 아닐기법을 채용,1천도C를 넘는 고온 프로세스와 같은 이동성을 실현했다. 셀파라인 방식의도프게이트를 이용해 마스크 수를 줄였으며 도프게이트,바스라인에 低저항의알루미늄배선을 채용했다.
<박주용 기자>