日캐논, 256MD램용 스테퍼 양산

일본캐논이 2백56MD램 양산용 스테퍼를 개발,내년 4월이후 출하한다.

25일 「日本經濟新聞」보도에 따르면 캐논이 개발한 스테퍼는 「FPA4000EST」로 광원에 불화 크립톤 엑시머레이저를 사용해 0.25미크론 이하의 해상도를 실현했다. 처리능력도 시간당 웨이퍼 10장으로 높다.

캐논은 이 스테퍼를 대당 7억엔에 판매할 계획인데 출시 첫해에 60대를 판매한다는 목표를 세우고 있다.

<박주용 기자>