세계 반도체 제조장비 업계가 12인치 실리콘 웨이퍼 제어 표준을 마련했다고 「로이터」 통신이 보도했다.
이에 따라 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼는 지금까지의 8인치 중심에서 12인치 중심으로의 급속한 세대 교체가 전망된다.
세계 반도체 장비, 재료 협회(SEMI)의 스탠리 마이어 사장은 이번에 마련된 표준은 미국과 일본, 유럽 업계가 공동 제정한 것으로 『지역 표준이 아닌 세계 표준이 될 것』이라고 밝혔다.
SEMI는 그동안 8인치 웨이퍼 제어용 장비를 생산해 온 반도체 제조 장비 업계가 이번 표준 마련을 계기로 12인치 웨이퍼 제어용 장비의 생산공장 건설에 본격 나서게 될 것이라며 비용이 1백40억달러에 달할 것으로 전망했다.
그러나 12인치 웨이퍼를 사용할 경우 반도체 칩 제조 비용은 오히려 20∼30% 감소되는 효과가 있을 것으로 예상된다.
한편, 어플라이드 머티리얼스, 노벨러스, 램 리서치 등 주요 반도체 제조 장비 업체들은 이번에 마련된 표준에 기반한 12인치 웨이퍼 가공 장비들을 이미 개발해 놓고 있는 것으로 알려졌다.
<오세관기자>