일본 니콘은 30인치 정도의 대형 액정표시장치(LCD)패널의 생산성을 향상시킬 수 있는 새로운 노광시스템을 개발했다고 최근 발표했다.
이 노광시스템은 7개의 투영렌즈로 구성된 광학시스템을 사용하는 것이 특징으로, LCD회로를 5백50×6백50㎜의 대형 유리기판 상에 렌즈 스캔방식으로 한번에 노광할 수 있다.
회로를 분할해 노광하는 스테퍼의 경우 보통 5백50×6백50㎜ 크기의 회로를 노광할 때 약 60초 걸리지만 니콘의 새 시스템은 45초 정도면 된다.
새 시스템은 또 스테퍼방식과 마찬가지로 2.4㎛ 이하의 해상도를 실현하고 있다.
니콘은 새 시스템을 20인치 이상의 LCD뿐 아니라 소니·샤프·필립스 등이 실용화하는 대화면 디스플레이 「플라즈마 어드레스 액정(PALC)」 등의 패널 생산에도 사용할 수 있도록 개선해 오는 2000년 상품화할 방침이다.
<신기성 기자>