일본 NEC의 디바이스평가기술연구소는 D램의 불량과 그 원인 공정을 신속하게 찾아낼 수 있는 시스템을 개발했다고 「일경산업신문」이 보도했다.
이에 따르면 NEC가 개발한 시스템의 검출속도는 D램 한 개당 15초 정도로 기존의 3분의 1 수준이다.
이 시스템은 웨이퍼상에 D램을 형성해 놓은 상태에서 검사하는 방식으로 웨이퍼상의 칩을 전기적으로 검사해 이상이 있을 경우 D램의 회로 특징 및 용량 등의 정보를 파악해 불량품을 가려낸다.
<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>