일본의 반도체 제조장비 생산활동이 호조를 보이고 있다.
「일본경제신문」은 일본반도체제조장비협회(SEAJ http://www.seaj.or.jp)의 조사자료를 인용, 지난해 12월 일본산 반도체장비의 수주액이 수출과 내수를 합쳐 전년동월대비 168.4% 증가한 1335억9000만엔을 기록했다고 보도했다. 이에 따라 99년 연간 총 수주액은 1조2319억7400만엔으로 집계됐다.
일본산 반도체 제조장비의 호조는 PC 및 휴대폰단말기 등 디지털 관련 제품의 세계적인 수요 확대에 따른 결과로 분석된다.
12월 장비별 실적은 실리콘웨이퍼에 회로를 집적하는 웨이퍼프로세스용 처리장치가 191.9% 증가한 897억5000만엔, 반도체 칩에 외부단자를 붙이는 조립용 장치가 196.2% 증가한 134억3800만엔, 전기실험 등을 실시하는 검사용장치가 162.4% 늘어난 258억6100만엔으로 각각 나타났다. <명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>