일본 스미토모금속공업과 미쓰비시머티리얼이 공동으로 반도체 소재가 되는 직경 300㎜의 대구경 실리콘웨이퍼 양산공장을 건설한다고 「일본경제신문」이 전했다.
총 투자액은 약 500억엔으로 양사가 절반씩 내며, 오는 7월 중 착공해 2002년초 월산 5만장 규모로 가동하고 2003년에는 월산 규모를 10만장으로 증강할 계획이다.
현행 주력 200㎜웨이퍼에 비해 수율을 약 2.5배 늘릴 수 있는 300㎜웨이퍼의 양산 추진은 세계 처음이다. <신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>