독일 반도체 제조업체 인피니온테크놀로지가 미국 버지니아의 D램 생산 공장에 300㎜ 웨이퍼 라인을 도입한다고 「세미컨덕터비즈니스뉴스」가 전했다.
이 회사는 버지니아 공장에 300㎜ 라인을 오는 2002년 1·4분기까지 구축할 예정이며 이 라인에서는 0.14미크론의 미세가공 기술을 이용, 256MD램을 생산할 계획이다. 이에 따라 현재 D램 생산에 사용중인 200㎜ 라인은 통신용 IC 생산라인으로 전환할 방침이다.
인피니온 COO 안드레아스 본 지체비트는 『시장 상황에 따라 단계적으로 300㎜ 장비를 설치할 방침』이라고 말하고 『300㎜ 라인 도입으로 칩 생산효율이 30% 이상 향상될 것』이라고 내다봤다.
1996년 「화이트오크세미컨덕터」라는 이름으로 설립된 인피니온의 버지니아 공장은 98년 D램 생산을 개시, 현재 0.17미크론 가공기술을 이용해 128MD램과 256MD램을 생산하고 있다.
<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>