일본제 반도체장비 수주가 극심한 부진을 계속하고 있다.
일본반도체제조장비협회(SEAJ)가 집계한 8월 반도체장비 수주·판매 통계에 따르면 수출을 포함한 일본제 장비의 수주액은 1966억8200만엔으로 전년동기 대비 73.5% 감소했다. 이로써 3개월 연속으로 70%를 넘는 대폭적인 감소세가 이어지게 됐다.
이 중 특히 부진이 극심한 분야는 후공정용 장비다. 반도체 칩을 전기적으로 시험하는 검사용 장치는 29억4500만엔으로 91.5%의 감소율을 기록했다. 배선을 처리하는 장비도 14억900만엔으로 89.1%나 감소했다.
핵심 장비인 스테퍼를 포함한 웨이퍼 프로세스용 처리장비는 427억7300만엔으로 70.4% 줄었다.
이같은 수주부진으로 시험장비 대형업체인 어드반테스는 내년 3월 마감하는 2001 회계연도 매출전망을 전년대비 61.5% 줄어든 1000억엔으로 하향조정했다. 또 제조장비가 수주에서 판매에까지 반년 이상 걸리는 점을 감안할 때 2002년에도 반도체장비 업체의 실적회복은 기대하기 어려울 것으로 예상된다.
<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>