일본의 캐논과 미국의 ‘어플라이드머티리얼(AM)’이 차세대 반도체 생산 기술을 공동으로 개발하기로 했다고 일본경제신문이 16일 보도했다.
이에 따라 웨이퍼 기층(基層)에 순환 패턴을 기록하는 ‘스테퍼’의 최대 생산자인 캐논은 오는 6월 캘리포니아에 위치한 AM 기술센터에 두 개 유형의 스테퍼와 몇몇 연구원을 파견한다고 밝혔다. AM은 세계 최대의 반도체 장비 업체다.
두 회사는 회로선폭 100∼130㎚(1㎚는 10억분의 1m)의 순환선을 만들 수 있는 불화 크립턴 레이저 및 70∼100㎚ 순환선을 만들 수 있는 불화 아르곤 레이저 사용법을 집중적으로 연구한다고 신문은 전했다.
<황도연기자 dyhwang@etnews.co.kr>