일본의 주요 반도체 업체들이 90㎚ 반도체 생산공정 개발에 박차를 가하고 있다. 실리콘스트래티지는 이들 반도체 업체가 90㎚ 생산 공정을 공동으로 연구하는 한편 독자적인 개발 노력도 게을리하지 않고 있다고 보도했다.
후지쯔, NEC, 소니 등 일본의 11개 주요 반도체 제조업체들은 일본 경제산업성과 함께 아스카 컨소시엄을 구축, 90㎚ 생산공정을 연구해 왔으며 지난달엔 생산 장비를 갖추기 위해 2억4300만달러의 예산 집행을 허가한 바 있다. 개발이 완료되면 참여 기업들은 신기술을 자유롭게 이전해 사용할 수 있다. 또 시험생산라인을 확장하거나 300㎜ 웨이퍼 공장을 따로 설립해 참여 기업 전체의 파운드리로 활용하는 방안도 검토 중이다.
이와 별도로 후지쯔는 지난 4월, 자사 아키루노연구센터의 90㎚ 시험 라인의 생산 실험을 성공적으로 끝마쳤다. 후지쯔는 향후 5년간 7억2000만달러를 투입, 2006년엔 생산능력을 갖춰 컨소시엄이 장애를 만날 경우에 대비한다는 계획이다. 독자적인 생산라인에서 자사 메인프레임용 고성능 특정용도집적회로(ASIC)나 대용량 플래시의 생산을 고려 중이다. 소니 역시 미국 IBM과 도시바 등과 협력, 90㎚ 공정 기술을 따로 연구해 차세대 게임기용 고성능 칩을 생산할 방침이다.
<한세희기자 hahn@etnews.co.kr>