캐논·니콘 등 일본 반도체 관련 10개사가 차세대 반도체 개발에 협력키로 합의했다고 일본 시사통신이 22일 보도했다. 이들 반도체 10개사는 이날 협력 단체인 ‘극단자외선 노광시스템 기술개발 기구’의 설립 총회를 연 뒤 다음달 정식 발족시킬 방침이다.
참가 업체에는 캐논·니콘·히타치·도시바·NEC·미쓰비시전기·후지쯔·소니 등이 포함돼 있다.
이번 공동개발은 니콘·후지쯔 등 7개 일본 반도체업체가 그동안 반도체 장비업체들과 협의회를 구성, 축소투영형 노광장치를 공동 개발키로 한 데 이은 조치다. 본지 5월 16일자 면 참조
시사통신은 또 이들 기업이 경제산업성의 후원 아래 선폭이 50㎚ 이하인 반도체 회로를 설계하는 신기술을 공동으로 개발할 계획이라고 덧붙였다. 50㎚ 이하 반도체 공정 기술은 향후 수년 이내에 세계 반도체업계의 주류를 형성할 것으로 예상되고 있으며 세계 최대 반도체업체 인텔을 비롯, 미국과 유럽 업체들도 이미 연구를 시작한 것으로 알려졌다.
<한세희기자 hahn@etnews.co.kr>