디지털 영상장치에 주로 쓰이는 전하결합소자(CCD) 메모리를 사용하는 디지털카메라의 감도를 10배 향상시킬 수 있는 신기술이 개발됐다.
토호쿠대학과 산요전기는 공동으로 CCD 감도 저하의 원인이 되는 전자를 줄이는 가공방법을 개발했다고 니혼게이자이신문이 7일 보도했다. 이를 통해 이동전화 등 플래시라이트가 없는 기기에 장착된 CCD 카메라로도 선명한 영상을 촬영할 수 있다. 산요전기는 이 신기술을 올해 CCD 카메라 제조공정에 도입할 계획이다.
CCD의 제조과정에는 화소를 구분짓는 에칭 공정으로 플라즈마를 쬐는 과정이 있다. 이때 이온과 함께 생기는 자외선의 영향으로 기판에 전자가 남는다. CCD는 받은 영상을 전자 신호로 바꾸는데 자외선에 의해 생긴 전자가 전자 신호에 작용, 화질을 떨어뜨리는 것이 문제로 지적돼 왔다.
연구진은 플라즈마를 쬐는 조사 시간에 의한 자외선의 영향을 조사, 50마이크로(마이크로는 100만분의 1)초마다 플라즈마를 쬐다 멈췄다 하면 에칭 속도를 유지하면서 자외선의 영향을 10분의 1로 줄일 수 있음을 발견했다.
<도쿄 = 성호철 특파원 hcsung@etnews.co.kr>