IBM이 단일벽(single walled) 나노튜브의 생산 수율을 획기적으로 높여주는 새 탄소 나노튜브 제조공정을 개발했다고 C넷이 보도했다.
IBM의 나노과학 담당 매니저인 패돈 애보리스는 “이번에 개발한 공정은 실리콘 대신 금속을 촉매로 사용한다”고 설명했다.
금속 촉매 제조공정은 니켈, 철, 코발트 등을 탄소 원자에 의해 녹을 때까지 가열시켜 단일 나노튜브가 액체 금속 표면에 형성되도록 하는 것으로 그동안 이 방법은 금속입자가 나노튜브를 자화시켜 사용하지 못하게 만드는 문제점 때문에 나노튜브 제조에 활용되지 못했었다.
IBM은 실리콘과 탄소층에서 형성된 결정을 1650℃까지 가열, 실리콘을 증발시켜 탄소층이 노출되도록 해 이같은 문제를 해결했다.
탄소 나노튜브는 반도체와 기타 부품의 배선을 없애주는 것은 물론 반도체 하나에 수십억개의 트랜지스터를 집적시킬 수 있도록 해주는 신기술로 주목받고 있다.
IBM은 이번에 개발한 공정으로 그동안 실험실내에서 작은 수만 만들어졌던 나노튜브를 대량생산할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
<황도연기자 dyhwang@etnews.co.kr>