원자현미경은 물체의 형상을 나노미터 수준에서 측정할 수 있는 첨단 계측장비로 나노기술 연구 분야에 널리 쓰이고 있다.
원자현미경은 주사탐침현미경(SPM)과 원자력간현미경(AFM) 두가지 유형으로 나뉘는데 SPM은 시료와 탐침 양쪽에 전기를 걸어 양자역학적 터널링 현상으로 전류가 흐르는 특성을 이용한 것이고 AFM은 시료와 탐침 원자 간에 작용하는 힘을 이용해 시료의 형상을 측정한다.
원자현미경은 주로 하드디스크·반도체·디스플레이 생산공정에 사용된다. 이 중 하드디스크 헤드 제조공정은 수 나노미터의 극미세 구조물을 정확히 측정해야 하기 때문에 원자현미경의 필요성이 더욱 큰 것으로 알려졌다.
원자현미경은 지난 86년 첫선을 보인 후 진화를 거듭하고 있으며 최근에는 1나노미터 미만의 구조물을 측정할 수 있는 장비도 개발되고 있다.
지난달에는 국내 원자현미경 전문업체 PSIA가 이 같은 차세대 원자현미경을 미국 하드디스크업체 시게이트에 공급하기로 해 주목받았다.
이호준기자@전자신문, newlevel@