시노펙스(대표 손경익)는 반도체 제조 공정에 사용되는 CMP필터를 국산화했다고 21일 밝혔다.
CMP필터란 웨이퍼 연마에 필요한 용액(슬러리)을 여과하는 제품이다. 시노펙스는 2년 여간의 연구개발 끝에 자체 기술력으로 기공이 0.2마이크로(um) 크기로 균일한 필터를 만드는데 성공했다고 설명했다. 시노펙스 측은 “CMP필터는 첨단 반도체 제조 공정 특성상 높은 신뢰성과 품질이 유지돼야 하기 때문에 그동안 전량 수입되던 제품”이라며 “나노급 필터 제품을 생산할 수 있는 기술력을 바탕으로 수입 제품들을 대체해 가겠다”고 밝혔다.
관련 업계에 따르면 국내 반도체·LCD 공정에 사용되는 고성능 필터 시장은 연간 약 3000억원 규모로 추산된다. 시노펙스는 반도체용 CMP필터 뿐 아니라 LCD용 필터 개발에도 박차를 가해 산업용 시장을 타깃으로 사업을 확대할 계획이라고 덧붙였다.
윤건일기자 benyun@etnews.co.kr