마이다스시스템(대표 이곤철)은 반도체 공정의 핵심장비인 2·4인치용 발광다이오드(LED) 자동 노광기(마스크 얼라이너)를 개발했다고 4일 밝혔다.
이 장비는 친환경적인 자외선(UV) LED 광원을 사용한 노광 모듈을 자체 기술로 개발, 국산화한 것이 특징이다.
기존 UV 램프 사용시간이 600시간으로 제한적인 데 반해 LED를 장착한 시스템은 반영구적으로 사용할 수 있다.
또 UV 램프처럼 시스템 초기 안정화에 걸리는 시간도 전혀 필요없으며, 점등 후 바로 사용할 수 있다.
오존 발생을 억제하기 위해 사용해야만 했던 질소 충전도 필요없을 뿐만 아니라 안전성이 뛰어나 폭발 위험도 전혀 없다.
최적의 파장 대역인 I-라인(365㎚)만을 골라 LED 광원을 적용함으로써 회로 패턴의 프로파일을 향상시킨다.
회사 측은 반도체 양산 라인에서 UV LED를 장착한 노광기를 채택하면 연간 1200만원 이상의 유지보수 비용 절감 효과가 기대된다고 설명했다. 또 램프 교체 인력 등이 별도로 필요없는 데다 양산 라인 가동 시간도 늘어나 결과적으로 생산성도 증대되는 효과가 있다고 덧붙였다. 장비 가격도 외산의 70~80% 수준으로 저렴하다.
마이다스시스템은 앞으로 LED 광원을 사용한 노광 모듈을 12인치 노광기까지 확대 적용할 계획이다.
이곤철 사장은 “앞으로 국내 LED 생산 업체를 대상으로 마케팅을 본격화하고, 중국과 대만에 판매 대리점을 확보해 수출 공략에 적극 나설 계획”이라고 말했다.
◇용어설명-노광기:반도체나 LCD 제조과정에서 유리기판과 마스크를 겹친 위에 빛을 쪼이는 장비.
대전=
신선미기자 smshin@etnews.co.kr