플라즈마텍(대표 박재경)의 유해백연 제거장치는 지난해 환경부 우수기술에 선정됐다.
플라즈마텍의 유해백연 제거장치는 반도체나 일반 산업 시설에서 배출하는 유해가스를 정전유전체라는 특수 방식을 이용해 99% 이상 제거하는 기술이다. 백연은 화학공장 탈황탑의 배출가스 중에 포함된 수분이 대기의 찬공기와 만나 작은 물방울로 변하면서 생기는 구름 형태의 연기이다.
반도체 공정에서는 130종류가 넘는 다양한 유해성 화학물질을 사용하고 있으며 이 화학물질들은 배기가스 형태로 공기 중에 배출돼 대기오염의 주범 가운데 하나가 됐다. 이를 제거하기 위해 지금까지는 사이클론(cyclone)이나 습식세정장치(wet scrubber) 등이 사용돼 왔으나 기술적 한계로 많은 유해가스가 그대로 공기 중에 방출되는 문제점이 있었다.
플라즈마텍은 지난 2005년 한국기계연구원과 함께 환경부 ‘정전유전체방식 반도체 배가스 유해백연 제거 시스템 개발’ 과제 주관업체로 선정, 개발을 주도했다. 이 기술은 습식전기집진 장치에 정전기 효과를 일으키는 정전유전체 기술을 더하는 것이다. 플라즈마텍은 연구개발에 나선지 불과 1년여 만에 유해백연 제거기술을 개발하는 데 성공했다. 국내 독자기술로 개발한 것이어서 의미가 더욱 컸다.
이 장치는 정전기 효과를 이용해 기존 방식으로는 잡아낼 수 없었던 미세 먼지까지 걸러낼 수 있게 해준다. 정전기 현상이 일어나는 텔레비전 화면에 미세한 먼지들이 쉽게 달라붙는 것과 같은 원리다.
사이클론 방식이 꽃가루에 해당하는 100마이크로미터(㎛, 1㎛=0.001㎜) 크기 입자를 잡아낼 수 있다면 정전유전체 방식은 곰팡이 포자나 각종 세균보다도 작은 0.01㎛ 크기의 바이러스나 담배연기까지도 걸러낼 수 있다. 또 습식세정장치는 불과 60%의 미세 먼지 제거효과가 있었지만 정전유전체 방식은 99%가 넘어 사실상 완벽하게 미세먼지를 걸러낼 수 있다. 특히 이 기술은 소용량부터 대용량까지 처리가 가능해 대규모 산업시설에도 적용할 수 있다는 장점이 있다. 효율이 높으면서도 전력사용량이나 용수사용량, 폐수처리비 등이 적게 들어 습식세정방식보다는 38%, 전기집진 방식보다는 29%의 비용절감 효과가 있다.
플라즈마텍은 이 기술로 특허를 보유하고 있으며 기술 우수성을 인정받아 제1회 한국기계연구원 기술사업화 우수기업에 선정되기도 했다. 플라즈마텍은 유해백연 제거장치를 삼성전자 탕정 LCD 공장 등에 납품하고 있다. 이 제품은 반도체 공정을 넘어 디스플레이와 나노·바이오산업에까지 적용할 수 있으며 관련 시장이 매년 30% 이상 성장할 것으로 예상된다. 또 기존 시스템과 비교해 독자적인 기술 우위를 확보하고 있어 반도체 생산공정 및 환경제어 장치와 관련해 중국 등 개발도상국으로 수출도 늘어날 전망이다. 한국기계연구원은 플라즈마텍이 이 기술로 연간 120억원 이상의 수익을 올릴 수 있을 것으로 내다봤다. 또 첨단산업 이 외에 보일러나 발전설비에도 기술을 활용할 수 있어 향후 시장성이 클 것으로 예상된다.
김용주기자 kyj@etnews.co.kr