일본 동북부 지역 일대에 발생한 강진 여파로 국내 반도체·LCD 공장도 일시 가동이 중단되는 등 일부 피해가 발생하고 있다. 삼성전자는 “11일 일본 동북부 지역 강진의 영향으로 반도체·LCD 라인의 포토장비 일부가 진동을 감지해 작동이 중단됐었다”고 밝혔다. 삼성전자는 “지진 발생후 8분이 지난 2시 54분쯤 자체적으로 가동을 일시 중단했으며 1시간 30분이 지난 시점인 4시 30분경에 다시 가동이 개시됐다”고 밝혔다. 포토장비는 반도체·LCD에 미세한 패턴을 찍어내는 기계로 수십나노급의 정밀도를 유지해야 하기 때문에 진동이 감지되면 자동으로 멈추게 된다. 하이닉스 역시 이천사업장에서 가동 중이던 포토장비가 지진을 감지, 2시간 동안 가동이 중단됐다. LG디스플레이는 구미 LCD사업장 일부 포토장비의 진동 감지로 가동이 일시 중단됐다가 다시 정상화됐다. 파주 사업장은 영향이 없었던 것으로 알려졌다. 유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr