큐셉테크놀로지는 아시아 지역의 세계 최대 규모의 2개 반도체 제조업체에 자사의 케메트리큐( ChemetriQ®) 5000NVD(non-visualdefect)검사 솔루션을 공급했다고 밝혔다.
최근 30나노미만까지 미세공정이 진화하면서 웨이퍼 세정과정이 최대 100여회 반복되는 데 이때 유기 및 무기 및 무기 잔여물, 금속 오염물질로 인한 잔류전업 등과 같은 결함이 발생한다. 이러한 문제점은 시각적인 장비를 통해 발견하기 힘들지만 이 장비는 이러한 오류를 찾아낼 수 있는 제품이다. 이번에 제품을 구입한 고객업체 중 한 곳은 30 나노급 공정을 이용하는 메모리 및 로직 제품 웨이퍼의 모니터링을 위해 이 시스템을 여러 대 도입했으며, 다른 한 고객사는 30 나노급 메모리 웨이퍼의 모니터링을 위해 구매했다고 큐셉측은 설명했다. 이 시스템은 이들 업체의 제조시설에서 세정 후 검사, RIE 에치 공정(reactive ion etch process) 모니터링 및 습식 세정 공정 모니터링 등 여러 애플리케이션 용도로 이용될 예정이다.
유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr