고가의 노광장비를 사용하지 않고 3차원 나노금형을 대량생산할 수 있는 원천기술이 개발됐다.
한국기계연구원(원장 최태인) 정준호 박사팀과 KAIST 김상욱 교수팀은 지식경제부 나노융합 산업원천기술개발 사업의 지원을 받아 30㎚급 3차원 나노금형 제작기술 개발에 성공했다고 20일 밝혔다.
3차원 나노금형 제작기술은 차세대 메모리, 나노센서 등을 값 싸게 제작할 수 있는 나노임프린트 공정 핵심기술이다.
연구진은 금속 산화물 소재의 3차원 직접 나노임프린트 공정과 블록 공중합체 자기 조립공정을 융합했다.
노광장비를 사용하지 않아 공정이 단순하다. 대면적 3차원 곡면 상에 수십 ㎚크기의 구조물을 쉽게 제작할 수 있는 것도 장점이다.
한국기계연구원 김사라 박사는 “이번에 개발한 기술을 금속 나노와이어 기반의 투명전극 개발에 활용할 계획”이라고 말했다.
이 연구결과는 21일 발간될 나노분야 국제 학술지인 `스몰` 내부 표지논문으로 선정됐다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com