TFT-LCD 표면에 증착된 물질을 제거하는 `건식식각(드라이에치) 공정`에 불소가스를 사용할 수 있다는 실험 결과가 나왔다. 기존 공정 소재인 육불화황(SF6)을 대체할 수 있을지 관심이다.
가스 및 엔지니어링 전문 기업인 린데코리아는 한국디스플레이산업협회와 함께 4.5세대 크기 패널에 불소가스를 적용한 결과 육불화항 대비 약 30%의 성능 개선을 확인했다고 27일 밝혔다.
실리콘산화물 및 나이트라이드 필름 테스트에서 식각률과 식각균일도가 향상됐으며 아울러 시간 및 가스 사용량이 절감됐다고 회사 측은 설명했다.
육불화황은 TFT-LCD 공정 상 중요 재료다. 하지만 지구온난화 지수가 이산화탄소의 2만 3900배에 달할 정도로 대표적인 온실가스다. 때문에 현장에선 저감 설비를 따로 둔다.
린데 측은 “그동안 증착장비를 세척하는데 사용되던 불소가스가 처음 건식식각에 활용할 수 있다는 걸 확인했다는데 의미가 있다”고 전했다.
린데그룹은 100여국에 진출, 지난해 138억유로를 거둔 기업이다. 한국 자회사인 린데코리아는 산업용, 특수용, 의료용 가스를 생산 중이다. 국내에는 8개 공장이 있다.
윤건일기자 benyun@etnews.com
