탑엔지니어링(대표 김원남·류도현)은 유기금속화학증착기(MOCVD)를 산업기술대학교에 공급했다고 29일 밝혔다.
MOCVD는 사파이어 웨이퍼에 단결정 폴리실리콘막을 증착시켜 발광다이오드(LED) 주재료인 에피 웨이퍼를 만드는 장비다.
탑엔지니어링이 공급한 제품은 특히 위폐 감별기나 의료기기에 적합한 UV LED 제조에 사용되는 MOCVD로 2인치 사파이어 웨이퍼 6장을 장착할 수 있다.
회사 측은 “산업기술대학교에 첫 UV LED용 MOCVD를 공급했으며 다른 대학, 연구기관들과 추가 납품을 추진 중”이라고 전했다.
MOCVD는 LED 전체 장비 투자액 가운데 절반을 차지하는 핵심 설비다. 독일 엑시트론과 미국 비코가 MOCVD 시장 강자다.
윤건일기자 benyun@etnews.com
