한국표준과학연구원(KRISS, 원장 강대임)은 김진태 박사 연구팀이 주도한 기체 질량 측정센서 규격이 국제표준화기구(ISO)로부터 진공기술분야 국제표준(ISO/TC 112)으로 채택됐다고 13일 밝혔다.
이번에 표준으로 채택된 기체의 질량을 측정하는 고감도 센서인 사중극 질량분석기(QMS)는 반도체, 디스플레이 등 산업 현장을 비롯한 환경, 의료, 식품 등 다양한 분야에서 활용되고 있다.
국내에는 수 천만원에서 수 억원대에 이르는 수천대 이상의 장비를 전량 수입하고 있다.
김진태 박사는 “사중극 질량분석기는 고감도 센서이기 때문에 사용하는 환경과 이력에 따라 신호가 수백 배 이상 변하는 등 안정적인 측정이 어려워 산업현장에서 원활한 사용이 이루어지지 못했다”며 “향후 사중극 질량분석기 불확도 요인과 교정절차에 대해 국제표준안을 제정하고, 측정 신뢰성을 향상시켜 관련 분석장비를 국산화할 계획”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com