한국 반도체 공정기술이 사상 처음 국제 표준으로 채택됐다. 미국·일본이 주도해 온 반도체 공정 표준 분야에서 국내 기술이 최초로 인정받은 개가다.
한국반도체산업협회(KSIA·회장 권오철)와 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 삼성전자·하이닉스와 국내 반도체장비업체가 공동으로 개발한 반도체 장비 간 통신 규격 `SEMI E5-0712`가 국제 표준으로 채택됐다고 14일 밝혔다.
SEMI E5-0712는 반도체 제조공정(팹) 자동화에 필수인 소프트웨어 규격이다. 팹 자동화 설비를 변경할 때 통신 오류를 줄여주는 기술이다.
지난 2008년부터 KSIA는 지식경제부 산업융합원천기술개발사업 일환으로 `차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술 개발 과제`를 추진해왔다. 한국은 세계 최고 반도체 공정기술을 보유했지만 표준화 활동은 없었다. 지금까지 SEMI 국제 표준 850개 중 한국산 기술은 전무한 실정이었다.
지식경제부와 KSIA는 앞으로 국내 장비업체들의 의견을 반영한 국제 표준 개발활동을 지속 지원할 예정이다. 향후 한국 장비업계가 반도체 공정 선진국과 표준화 경쟁을 벌일 수 있을 것으로 기대된다.
오은지기자 onz@etnews.com