한국에이티엠아이(대표 유진선)가 오는 30일부터 다음달 1일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 국내 최대 규모 반도체장비 재료 전시회 `세미콘 코리아 2013`에서 다양한 가스 임플란트 제품과 기술을 선보인다. 전시회에는 실린더 내부 탄소물질에 가스를 흡착해 저장하는 SDS(Safe Delivery Source) 가스실린더와 VAC 가스실린더 및 브라이트팩 제품 등 다양한 가스 임플란트와 패키징 제품을 출품한다고 23일 밝혔다.
SDS 가스실린더는 반도체소자나 평판디스플레이, 태양전지 등을 제조하는 데 필요한 이온주입 공정에 필요한 장비다. 낮은 압력으로 진공을 뽑아야 가스가 인출되도록 함으로써 인체에 유해한 가스를 대기압에서 저장하면서도 누출 위험을 최소화했다. 전통적인 가스 전달 방법에 비해 높은 생산율을 제공한다. 특히 아직 누출 사고 발생 이력이 없어 높은 안전성을 인정받고 있다.
31일에는 그랜드 인터콘티넨탈호텔 지하 1층 카네이션룸에서 ATMI의 혁신적인 안전 패키지 기술을 소개하는 심포지움을 개최한다. 삼성전자·하이닉스·매그나칩·동부반도체 등 국내 반도체기업을 대상으로 실시하는 심포지엄에서는 반도체 공정에 사용되는 독성 가스를 안전하게 저장하는 SDS 가스실린더 기술과 포토공정의 포토 레지스터 화학물질을 안전하게 보관하고 전달하는 브라이트팩 제품을 소개할 예정이다.
유진선 사장은 “전시회와 세미나를 통해 ATMI의 가스 임플란트 기술이 얼마나 안전성이 높은지를 보여줄 것”이라고 말했다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com