[경기도기술개발사업 성과]<8> 이지스코 `쌍극형 세라믹 정전척`

이지스코(대표 안호갑)는 반도체·디스플레이 및 LED용 흡착부품 전문업체다. 2008년 7월 설립한 신생벤처로 2010년 7월부터 2년간 경기도기술개발사업에 참여했다. 총 8억원을 들여 `쌍극형 세라믹 정전척` 개발과제를 수행했다.

정전척은 반도체나 디스플레이 등 생산라인에서 기판을 가공할 때 움직이지 않도록 하기 위해 정전기를 발생시켜주는 부품이다. 이지스코는 이번 과제로 부도체 기판인 사파이어나 글라스를 전기장으로 흡·탈착하는 기술을 개발, 4인치와 6인치 크기의 세라믹 정전척을 출시했다.

개발한 기술은 LED 식각공정에서 대구경화에 따른 칩 수율을 5%가량 향상시켜준다. 또 OLED 증착공정에서 대면적화 추세에 따른 글라스 처짐 현상을 방지할 수 있다. LCD 생산공정에서도 기판 슬림화에 따른 글라스 처짐을 막아준다.

사파이어 부조체 기판에서 20.8gf/㎠에 이르는 국내 최고의 정전력을 실현한 것은 커다란 기술적 성과를 인정받았다. 높은 내전압성을 갖춘 쌍극형 세라믹 정전척 제조기술도 확보했다. 이들 기술로 5건의 특허를 출원, 이 가운데 2건은 등록을 마쳤다.

과제 수행중인 2011년 S사 혁신기술협의회 반도체 부문 정전척 사업자로 선정되는 성과도 거뒀다. S사를 비롯한 5개사에 13개 제품을 공급했다. 올해는 2개사에 정전척을 추가 개발해 공급할 예정이다. 회사 측은 이를 통해 올해 총 20억원 이상의 매출을 올릴 수 있을 것으로 기대했다. 이 회사는 지난해 매출이 8억 4000만원이다.

향후 의료장비와 터치스크린패널(TSP) 합착장비 및 휴대폰 부품 장비 시장으로 사업영역을 확대해 나갈 계획이다.

안호갑 사장은 “55인치 OLED TV 공정에도 접목해 상반기에만 8억원 매출을 달성했다. 특히 최근 개발 중인 12인치 정전척은 개당 가격이 3000만원을 호가하는 고가품이라 올해 매출목표 달성은 충분히 가능하다”며 “2015년까지 100억원 매출을 올리는 중견기업으로 성장하는 것이 목표”라고 밝혔다.

김순기기자 soonkkim@etnews.com