ATMI가 브이(V)낸드·핀펫(FinFET) 등 차세대 반도체에 쓰이는 화학 재료를 한국에서 생산한다.
올해부터 국내 반도체 시장을 공략하고자 한국 내 연구개발(R&D)·제조 비중을 크게 늘린다. 삼성전자 등 한국 반도체 기업이 올해 V낸드·핀펫 등 차세대 반도체 양산에 돌입함에 따라 신소재 시장을 선점하려는 전략으로 보인다.
ATMI는 서울 코엑스 인터콘티넨탈 호텔에서 기자간담회를 열고 올해 한국 수원 기술 연구소 인력을 갑절로 늘리고 상반기 수원 장안 공장을 정상 가동한다고 11일 밝혔다.
ATMI 장안 공장은 지난해 10월 완공됐으며 현재 반도체 가스를 일부 생산하고 있다. 향후 차세대 반도체용 화학 재료를 주로 생산할 것으로 알려졌다. V낸드·핀펫 공정에는 종전 반도체용 재료와 다른 물질이 대거 쓰인다.
ATMI는 반도체 공정에 쓰이는 임플란트 가스를 사실상 독점 공급하는 강소기업이다. 반도체용 유해 가스를 안전하게 관리, 운송하는 핵심 기술을 보유하고 있다. 대기압보다 낮은 압력으로 가스를 주입해 밸브가 열리거나 용기가 깨져도 유해 물질이 누출되지 않는다.
ATMI는 본사 외 한국·대만에만 기술 연구소를 운영하고 있다. 최근 한국 반도체 시장의 중요성이 커지면서 현지 R&D 및 생산 비중을 높이고 있다. ATMI 글로벌 지사 중 R&D와 생산을 모두 담당하는 곳은 한국뿐이다.
크리스찬 크래이머 ATMI 수석 부사장은 “반도체 노광기술이 한계에 봉착하면서 미세공정을 구현할 수 있는 신소재의 중요성이 더욱 부각되고 있다”며 “첨단 소재를 한국 반도체 업체에 즉각적으로 공급할 수 있는 시스템을 구축할 것”이라고 말했다.
이형수기자 goldlion2@etnews.com