탑엔지니어링(대표 김원남·류도현)은 대만 사파이어 웨이퍼 업체인 CWT에 발광다이오드(LED)용 고주파 유도 결합 플라즈마 식각장비(ICP 에처)를 공급한다고 30일 밝혔다.
이 장비는 LED 소자의 발광 효율을 향상시키는 PSS(Patterned Sapphire Substrate) 식각 장비다. 웨이퍼를 원하는 모양으로 깎아낼 수 있어 LED 칩 대량 생산을 위한 핵심 기술로 꼽힌다.
LCD 공정 장비를 주력으로 해 온 탑엔지니어링은 지난 2009년부터 LED 장비를 개발해왔으며, 지난 2012년 LED용 유기금속유기증착장비(MOCVD)를 한국산업기술대학교 산학협력단에 공급하기도 했다. LED 장비를 대만에 수출하는 것은 이번이 처음이다.
탑엔지니어링 관계자는 “이번 계약은 공급 물량이나 금액이 크지는 않지만 신규 제품의 수출로 LED 장비 해외 판로를 개척했다는 점에서 의의가 크다”고 말했다.
문보경기자 okmun@etnews.com
