“고객 요청으로 반도체 장비에 사용하는 세라믹히터를 처음으로 국산화했습니다. 외산보다 가격은 싸고 품질이 좋아 고객이 매우 만족해합니다.”
충남테크노파크(충남TP) 성공관에 입주해 있는 마이크로티에스(대표 이주화)는 2008년 11월 설립된 벤처다. 설립 2년만인 2010년 외산보다 가격이 싸고 품질이 우수한 세라믹히터를 개발하는데 성공했다. 이듬해인 2011년 2월에는 400도의 고온에서도 사용할 수 있는 고부가 세라믹히터를 개발해 큰 관심을 끌었다.
이주화 사장은 “처음에는 우리 장비와 일본 장비를 50대 50으로 사용하던 국내고객이 올해부터 일본 제품을 안 쓰고 전량 우리 제품을 사용한다”며 “종주국인 일본을 제치고 오히려 일본에 역수출을 준비하고 있다”고 밝혔다.
마이크로티에스는 브랜드 인지도가 낮고, 지역기업으로서 우수한 해외마케팅 인력 채용이 쉽지않아 수출에 어려움이 많다. 하지만 한국 세라믹히터 시장보다 몇십배나 큰 일본시장 공략을 위해 직원들이 합심해 노력을 다하고 있다.
이 회사의 세라믹히터는 엔지니어 출신인 이 사장이 직접 나서서 개발한 동그란 웨이퍼 형태를 띤 반도체 제조용 부품이다. 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 베이킹(Baking)하는데 사용한다. 300㎜ 제품이 온도 편차가 0.3% 이내 일정도로 기능이 우수하다. 변형 폭도 플러스 마이너스 15마이크론미터(μm)에 불과하다. 400도 온도에서 사용할 수 있는 것은 국내에서 유일하다.
마이크로티에스는 공주대 창업보육관에서 출발했다. 원래 반도체와 디스플레이 검사때 사용하는 소켓용 프로브 핀(Probe Pin)이 주력제품이다. 국내 10여개 핀업체 중 4, 5위 정도다. 현재까지 약 800여종의 핀을 개발했다.
특히 이 회사는 0.15mm 피치급과 2mm 길이 핀 양산 기술을 확보하고 있다. 롤링과 4점 코킹 등 핀 조립기도 자체 개발했다. 고객사는 국내에 약 30여개와 싱가포르, 동남아 등 해외에 10여개사를 확보하고 있다.
이 사장은 “기술 고급화에 주력해 올해 길이 1.2mm 핀 개발에 나서겠다”며 ”하이파워 디바이스 용 프로브 핀도 선보일 계획”이라고 말했다.
마이크로티에스가 주력하는 또 하나의 분야가 하이브리드 및 전기자동차용 부품(터미널)이다. 전기차용 터미털은 이미 개발을 끝내고 시험(파일럿) 생산 중이다. 또 하이브리드용 터미널은 2단계 파일럿 신뢰성을 테스하고 있다.
마이크로티에스는 2008년 12월 벤처기업 인증에 이어 2009년 3월 부품소재전문기업 인증을 받았다. ISO 9001과 ISO 14000 인증도 보유하고 있다. 일체형 프로브 카드와 반도체검사 장비용 프로브핀, 반도체 패키지 검사용 소켓 등 3종의 특허를 갖고 있다. 세라믹히터 제조 방법은 특허 출원 중이다.
이주화 사장은 “올해 세라믹히터와 전기자동차용 터미털 분야에서 좋은 성과를 거둬 매출 30억원 이상을 올릴 계획”이라고 말했다.
천안=
방은주기자 ejbang@etnews.com