어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 태양전지 생산비용 절감과 수율 개선을 지원하는 웨이퍼 검사 장비 ‘어플라이드 베리셀 태양광 웨이퍼 검사 시스템’을 선보였다고 20일 밝혔다.
AMAT는 중국 상하이에서 열리고 있는 ‘제8회 SNEC 국제 태양광 박람회’에서 베리셀 시스템을 발표했다.
베리셀 시스템은 100% 자동화로 수동 검사의 품질 관리 문제를 해결했다. 다중인식기능과 소프트웨어 알고리즘을 결합한 PL(photoluminescence) 기술로 평균 오차 0.15% 미만으로 효율을 자동 예측한다.
이 시스템은 통합 다중인식모듈을 탑재해 웨이퍼 톱니 자국, 깨진 가장자리, 얼룩 같은 결함을 정확하게 탐지한다.
짐 멀린 AMAT 부사장은 “베리셀 시스템으로 실시간으로 수율 최적화가 가능하다”며 “들어오고 나가는 웨이퍼 품질을 효율적으로 추적할 수 있다”고 설명했다.
이호준기자 newlevel@etnews.com
