반도체 공정 관리 업체 KLA-Tencor(지사장 정용식)는 레티클 품질 제어 솔루션 ‘Teron SL650’을 22일 내놨다.
이 제품은 20나노미터(㎚) 이하 미세공정에서 이 회사 독자 기술을 기반으로 패터닝(patterning) 공정을 마친 레티클의 품질을 검사한다. 레티클 제조 과정에서 발생하는 불량을 실시간으로 추적, 마스크 패턴의 변화도 식별한다. 검사하는 데 걸리는 시간을 줄여 생산성을 확보했고 노드도 추가할 수 있다.
레티클(reticle)은 반도체 제조 공정에서 노광용 마스크를 만들기 위해 사용되는 원판이다. 공정이 복잡할수록 공기 중 불순물이 수분과 결합, 레티클을 오염시키는 헤이즈(haze) 현상이 발생할 확률이 높아진다. 이는 곧 수율과 직결된다. 야린 슝 KLA-Tencor 부사장은 “레티클에 문제가 생길 경우 이를 바탕으로 인쇄하는 모든 웨이퍼에 영향을 준다”며 “제조업체들이 칩 성능과 수율을 동시에 잡을 수 있을 것”이라고 밝혔다.
김주연기자 pillar@etnews.com