[경기도기술개발사업 성과]<47>제이에이티, 웨이퍼용 고밀도 IPA 라인타입 증기 챔버 건조 시스템

제이에이티(대표 오세웅)는 경기도 화성에 위치한 공장자동화 및 반도체, 평판디스플레이(FPD) 관련 장비 업체다. 경기도기술개발사업에는 2012년 12월부터 1년간 참여했다. ‘웨이퍼용 고밀도 IPA 라인타입 증기챔버 건조 시스템’을 개발하는 과제였다.

기존 최종 세정 및 증기 건조 장비는 가연성 물질인 IPA를 증기로 기화시키기 위해 밀폐된 증기챔버를 가열해야 한다. 이 때문에 화재나 폭발 위험이 존재한다. 공정시간 전에 충분한 시간을 갖고 가열하는 준비과정도 거쳐야 한다. 특히 IPA를 고밀도화 하는 데는 한계가 있어 표면 물기 건조 시간이 오래 걸리는 단점도 상존했다.

이번 과제에서는 반도체 공정에 필요한 최종 세정 및 건조장비의 안전성과 건조효율을 높이면서 건조시간을 줄이고 품질을 향상시키는 방향으로 기획했다.

우선 IPA 소모량을 최대 90%까지 줄이는 등 다양한 증기 공정 능력 개선 효과를 꾀했다. 카세트 레스 공정 처리과정을 개선해 건조공정 시간을 약 40% 단축했다. 또 부분 데이터와 관련한 성능도 기존 공정 장비와 동일하거나 한층 높게 개선했다. IPA 밀도는 10~83%까지 조정가능토록 했다. 이로써 IPA 소모량을 최소화하는 효과도 거뒀다.

IPA 가열을 실시간화해 예열공정을 없앤 것도 성과다. 이를 통해 안전성을 높이는 동시에 에너지 소모도 최소화했다.

제이에이티가 개발한 웨이퍼용 고밀도 IPA 라인타입 증기챔버 건조 시스템은 이런 과정을 거쳐 개발했다. 최종 세정 과정의 안전성과 건조효율을 높이는데 성공했다. 웨이퍼 건조시간은 50%가량 단축할 수 있었다. 이로써 최종 생산물의 생산성 제고 효과를 기대할 수 있게 됐다. 원가 관리와 품질향상에 기여할 수 있는 토대를 마련한 셈이다.

회사 측은 이렇게 개발한 기술로 지적재산권을 출원했다. 현재 수요처에서도 긍정적인 반응을 보여 1차 양산제품을 납품할 예정이다. 또 이를 바탕으로 내부적으로 2차 개발기획을 진행 중이다.

김순기기자 soonkkim@etnews.com