변정훈 영남대 교수, 광반응 나노기판 제조 신기술 개발

국내 연구진이 초소형 의료용 센서나 에너지변환 소재로 각광받고 있는 광반응 나노기판 제조 공정 기술을 개발했다.

변정훈 영남대 기계공학부 교수는 대기압·상온 조건에서 기계공정 기반 기술로 나노미터(㎚:10억분의 1미터) 크기의 금속점(Nanodot) 및 고리(Nanoring) 형상으로 구성된 광반응성 기판을 처음으로 구현했다.

변정훈 영남대 교수
변정훈 영남대 교수

통상적으로 나노미터 크기의 금속 패턴(Pattern)은 반도체나 디스플레이 제조 공정에 이용되는 진공 조건의 복잡한 식각(lithography) 공정을 통해 구현된다.

하지만 변 교수는 이번 연구에서 대기압에서 기체의 흐름 및 온도 제어를 통해 금속막 생성을 유도하는 나노입자를 실리콘 기판 위에 부착시킨 후 상온에서 금속막의 생성을 추가로 유도해 40㎚ 수준의 금속점 및 고리가 패턴된 광반응성 기판을 개발했다.

이번 연구결과는 기존 식각공정의 기술적 복잡성을 극복하는 새로운 대안을 제시한 것으로 평가된다.

변 교수는 “기체의 열과 흐름을 제어하는 기계식 비식각 공정을 토대로 금속막 생성 유도 나노입자 표면의 정전기 조절 및 나노입자 물질변경 등을 통해 다양한 특성의 광반응성 나노기판을 구현할 수 있다”며 “이에 따라 저비용으로 빛에 반응하는 초소형 의료용 센서 및 빛을 열로 전환시키는 에너지 변환 소재 등의 개발에 활용될 수 있을 것”이라고 말했다.

이번 연구결과는 ‘에어로솔 기반의 비식각 기술을 이용한 나노미터 크기의 은 점 및 고리 형상 구현 및 그 분광적 응용’이라는 제목으로 영국 왕립화학회(RSC)가 발간하는 나노기술 분야의 세계 최고 권위지 ‘나노스케일(Nanoscale)’ 웹사이트에 최근 공개됐다.

한편, 변정훈 교수는 ‘기체상 나노입자 액화 및 물질합성’ ‘에어로솔 촉매를 이용한 기상 물질합성’ ‘무기-유기 나노복합소재’ ‘나노패터닝’ 등을 주요 연구 분야로 60여편의 연구 논문을 SCI급 국제 학술지에 게재한 바 있다.

대구=정재훈기자 jhoon@etnews.com