로옴이 초소형 정밀 압력센서를 개발했다. 기존보다 면적이 작으면서 고도 감지 기능을 높여 스마트폰이나 웨어러블 기기 신제품에 탑재될 것으로 기대된다.
닛케이산업신문은 로옴이 초소형 기압센서를 개발했다고 14일 보도했다.
신제품은 기존 제품보다 기판 점유 면적이 36% 줄어 지금까지 나온 제품 중 가장 작은 크기다. 로옴은 미세전자기계시스템(MEMS)과 제어회로 구조를 재설계했다. 종전 가로, 세로 모두 2.5㎜인 제품 크기를 2㎜로 소형화했다. 높이는 기존 제품과 동일한 1㎜다.
기압으로 측정할 수 있는 높이도 보다 정밀해 졌다. 제품은 계단 한 단에 해당하는 20㎝ 단위로 기압변화를 감지할 수 있어 고도 판별이 가능하다. 기온에 따라 변화되는 기압도 추정할 수 있다.
센서 내부는 진공으로 상단에 위치한 얇은 막에 MEMS 소자를 탑재했다. 패키지 외부에서 공기가 들어가면 그 압력에 의해 막에 굴곡이 생기고 이로 발생한 전기 저항으로 기압 변화를 감지한다.
로옴은 오는 10월 샘플 출하를 시작할 계획이다. 내년 4월부터는 일본 교토와 필리핀에 있는 공장에서 월 100만개 수준으로 양산에 돌입한다는 목표다. 회사는 점점 작아지는 고성능 웨어러블 기기 등에서 수요가 많을 것으로 기대한다.
기압센서는 미세한 압력 차이로 높이를 측정할 수 있어 스마트폰이나 웨어러블 기기 등에 쓰이고 있다. 최근 계단 오르내리기 등을 인식할 수 있는 건강관리 애플리케이션이 보급되며 점차 사용이 늘어나는 추세다. 기기에 탑재된 위성위치확인시스템(GPS)을 사용하기 어려운 실내에서는 지자기 센서와 함께 정확한 위치 정보를 파악하는데 사용된다.
김창욱기자 monocle@etnews.com