20일 오전 경기 안산시 경기테크노파크 건물 8층 반도체 클리닉 장비 기술업체 연구소에서 불산과 질산이 혼합된 화학물질이 누출되는 사고가 발생했다.
이 사고로 건물 1~10층 내부에 있던 130여명과 옆 4개동 120여개 입주업체 1000여명이 긴급 대피했다. 불산 등을 흡입한 것으로 의심되는 연구원 2명과 어지러움을 호소하는 입주업체 직원 20여명은 인근 병원으로 이송돼 치료를 받고 있다.
경찰과 소방 당국은 연구원 2명이 전자제품을 세정하면서 이 작업에 필요한 불산과 질산이 포함된 혼합물질을 옮겨 담다 누출 사고가 발생한 것으로 보고 정확한 원인을 조사 중이다. 누출량은 약 5리터 수준이다.
사고 당시 해당 직원들은 방독면 등 보호장비를 착용했던 것으로 전해졌다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com