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반도체 증착장비 기업 테스가 중국에 유기발광다이오드(OLED)용 봉지장비를 공급하며 올해 사업 확대 기반을 다진다. 수년간 침체했던 디스플레이 장비 사업이 다시 부활하는 원년이 될 것이라는 기대가 커졌다.
테스(대표 주숭일 이재호)는 지난해 말 중국 에버디스플레이에 이어 올해 차이나스타(CSOT)에 플렉시블 OLED용 봉지장비를 공급했다. 양산용이 아닌 연구개발용으로 납품해 전체 공급 규모는 크지 않지만 플렉시블 OLED 투자를 준비하는 중국에서 새로운 성장을 기대할 수 있게 돼 의미 있다.
테스는 매출의 약 95%가 반도체용 장비에서 발생한다. 삼성전자와 SK하이닉스에 납품한다. 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD), 저압화학기상증착장비(LPCVD), 가스방식 건식식각장비(드라이에처)가 중심이다. 최근 반도체 제조사들이 3차원(3D) 낸드플래시 설비에 투자하면서 테스도 관련 실적이 상승했다.
반도체와 달리 디스플레이 장비 사업은 지난 4~5년간 눈에 띄는 성적을 내지 못했다. 꾸준히 OLED 증착 기술을 연구 개발하며 재도약을 준비했다.
사업 성과는 지난해부터 나타났다. 에버디스플레이와 81억7000만원 규모 OLED 박막봉지장비(TFE) 공급 계약을 맺었다. 플렉시블 OLED 공정을 연구하는 용도로 사용된다. 지난 3월에는 차이나스타(CSOT)와 47억원 규모 박막봉지장비를 공급키로 했다.
테스는 기존 보유한 반도체 증착 기술력을 OLED 장비에 녹여냈다. OLED 봉지장비는 무기물과 유기물층을 순차적으로 얇게 증착해 공기 중 수분과 산소로부터 OLED 소재를 보호한다. 테스는 봉지장비에 주로 적용하는 PECVD 기술뿐만 아니라 원자층증착(ALD) 기술 기반의 봉지 기술도 확보했다.
ALD 장비는 반도체 공정이 미세화함에 따라 불순물을 최소화하고 균일한 두께로 양질의 박막을 형성하는 게 강점이다. 최근 OLED 시장에서 ALD 기술을 도입해 한 단계 높은 품질을 구현하려는 연구개발이 활발하다.
중국 패널 제조사들이 OLED에 적극 투자하고 있어 중국에서 디스플레이 장비 사업 부활을 노린다. 지난 1일 주숭일·이재호 각자 대표제로 전환하고 디스플레이 장비 사업에 힘을 실었다. 이재호 대표가 디스플레이 사업에 좀 더 비중을 두고 진두지휘한다.
테스 관계자는 “디스플레이 사업 실적이 소폭 발생하고 있어 중국 시장에서 새로운 성장 기회를 노리고 있다”며 “수년 전부터 현지 영업·마케팅을 펼치고 있다”고 설명했다.
<테스 상반기 실적 추이>
배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com
