효성 울산 용연3공장 작업중지가 국내 삼불화질소(NF3) 공급에 미칠 영향은 미미한 것으로 나타났다. 효성 관계자는 “구체적인 재고량을 밝힐 수 없지만 당분간 공급에 차질이 없는 정도”라며 “평소 70~80%인 용연 1공장 가동률을 높이는 방법도 가능하다”고 말했다.
16일 업계에 따르면 올해 3분기 삼불화질소 가격은 하락세다. 가스업계 관계자는 “증설 계획에 따라 늘어날 물량이 반영돼 현재 삼불화질소 가격은 많이 떨어진 상태”라며 “효성 공장 작업 중지 기간이 6개월이 넘지 않는 이상 별영향은 없을 것”이라고 말했다.
이번에 작업을 중지한 효성 용연 3공장 삼불화질소 공장은 올해 3월부터 생산을 시작했다. 연 1250톤 생산능력이다. 기존 용연 1공장 2400톤 생산능력을 더해 효성은 국내 삼불화질소 생산능력이 3650톤으로 늘었다. 중국 저지앙성 취저우시에 짓고 있는 연 2500톤 규모 삼불화질소 공장이 완공되는 내년 상반기 생산능력은 6150톤으로 증가한다.
울산고용노동지청은 사고가 난 지난 3일 용연 3공장에 작업중지 명령을 내렸다. 울산고용노동지청 관계자는 “부상자 7명 중 5명은 당일 퇴원을 했다”며 “폭발사고 원인이 어떻게 나오는지에 따라 중지기간이 달라진다”고 했다.
효성에 따르면 이번 사고는 흐름에 이상이 생긴 기존 배관에서 다른 배관으로 바꾸는 과정에서 발생했다. 운반이 원활하지 않은 배관을 잠그고 다른 배관 펌프 스위치를 누르자마자 폭발이 일었다. 당일 퇴원하지 않은 2명 중 1명은 등 10% 면적에 2~3도 화상을 입었다. 나머지 1명은 파편이 튀어 다리에 외상을 당했다.
액화 상태 삼불화질소 33㎏이 누출됐다. 삼불화질소는 관련 법령에 따라 유독물질로 분류되지 않는다.
삼불화질소는 반도체 공정에서 챔버(Chamber) 안 잔류물을 제거하는 세정가스다. 챔버는 반도체 장비에 달린 닫힌 통을 말한다. 챔버 안에서 진공, 열, 압력 등 환경을 조절해 웨이퍼 위로 회로를 만든다.
회로 배선을 구성하는 절연막, 유전막 등을 증착하는 데 화학기상증착(CVD) 방법 등이 이용된다. 챔버 내 모든 물질이 웨이퍼 위로 증착되지는 않는다. 벽이나 천장에 달라붙어 잔류하는 물질이 생긴다. 이 잔류물을 제거하는데 삼불화질소가 쓰인다. 삼불화질소가 열분해한 불소(F) 가 잔류물과 반응한다.
삼불화질소는 SK머티리얼즈가 세계에서 가장 큰 생산능력을 보유하고 있다. 연 7600톤으로 경북 영주 공장 6600톤, 중국 지앙수성 전지앙시 공장 1000톤이다. 영주에서 1000톤 증설이 완료되는 연말에는 생산능력이 8600톤으로 늘어난다.
일본 칸토덴카, 미국 에어프로덕츠도 국내 반도체, 디스플레이 업체에 삼불화질소를 공급하고 있다. 칸토덴카는 일본 구마현 연 3500톤 공장에서 생산한 삼불화질소를 국내에 들여온다. 에어프로덕츠는 울산 공장에서 삼불화질소를 생산하고 있다.
이종준기자 1964winter@etnews.com